普發(fā)真空氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 390

普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀

高性能移動(dòng)型檢漏儀——ASM 390

高性能 – 移動(dòng)式 ASM 390、ASM 392

對(duì)大型測(cè)試對(duì)象進(jìn)行快速抽氣和短響應(yīng)時(shí)間

ASM 390 和 ASM 392氦質(zhì)譜檢漏儀 是理想的泄漏檢測(cè)解決方案，適用于半導(dǎo)體和顯示器行業(yè)以及其他以快速抽氣和高靈敏度為關(guān)鍵的苛刻應(yīng)用。兩個(gè)裝置均符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。

這些檢漏儀配備了干式無(wú)摩擦前級(jí)泵和強(qiáng)大的高真空泵，使其成為在清潔環(huán)境中對(duì)各種組件進(jìn)行泄漏測(cè)試的理想工具。 ASM 392 配備額外的渦輪分子泵，將加快泄漏檢測(cè)過(guò)程，減少生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。

干式氦檢和移動(dòng)性

ASM 390 和 ASM 392 可用于半導(dǎo)體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求嚴(yán)格的應(yīng)用，這些應(yīng)用需要快速的抽空時(shí)間和高靈敏度。兩種型號(hào)都符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)。

這些氦質(zhì)譜檢漏儀都裝備干式非接觸前級(jí)泵和強(qiáng)大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測(cè)試的理想工具。ASM 392裝有一臺(tái)額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測(cè)流程，降低生產(chǎn)設(shè)

備的停機(jī)時(shí)間。

耐用、精確、可靠

ASM 390 和 ASM 392 的開發(fā)是基于實(shí)現(xiàn)任何等級(jí)的操作人員都能上手的設(shè)備。他們都可以在最短的時(shí)間里提供良好性能和結(jié)果，從而在現(xiàn)場(chǎng)提高效率。

符合人機(jī)工學(xué)且操縱靈敏

ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺(tái)，人機(jī)工學(xué)設(shè)計(jì)，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉(zhuǎn)、可拆卸，前部入口易于連接測(cè)試端口，可操作性強(qiáng)，可用于各種測(cè)試場(chǎng)地，即使狹小的空間也應(yīng)對(duì)自如。

精巧智能且用戶友好

通過(guò)色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉(cāng)和真空波紋管存儲(chǔ)的集成工具箱，在使用地點(diǎn)所有需要的附件無(wú)不齊備，您會(huì)感嘆泄漏檢測(cè)多么輕松。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 高機(jī)動(dòng)性和緊湊的設(shè)計(jì)

• 好的泄漏測(cè)試性能

• 大型可旋轉(zhuǎn)彩色觸摸屏

• 高粗加工能力 (35 m3/h)，可實(shí)現(xiàn)快速疏散

• 干燥清潔泵送技術(shù)

• 維護(hù)要求低

• 工作表面符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)

• 污染情況下快速恢復(fù)

• 直觀的菜單，方便操作

• 用于存放配件的集成工具箱

• 快速啟動(dòng)

• 高靈敏度和準(zhǔn)確的測(cè)量

• 符合半 S2 標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體 鍍膜 太陽(yáng)能 粒子加速 真空管件（貫通器材、閥門、波紋管、伸縮接頭）鐳射技術(shù) 超純物質(zhì) 電子元器件 航天 醫(yī)藥

ASM390尺寸圖：